型 号

　　SMU-3030HA

　　X/Y/Z测量行程

　　300╳300╳200mm

　　Z轴行程

　　调焦行程200mm(可根据客户要求定制加高)

　　XY轴基座

　　00级济南青大理石

　　仪器底座

　　00级济南青大理石

　　玻璃台面尺寸

　　380╳380mm

　　玻璃台承重

　　30kg

　　传动型式

　　HiwinP级精密线性导轨

　　Hiwin C5级研磨滚珠丝杆

　　NSK轴承

　　(可选配手持式移动摇杆操作)

　　金属贴片光学尺

　　X/Y轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

　　Z轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

　　X/Y线性测量精度(μm)

　　≤2.5+L/200

　　机台定位精度(μm)

　　≤2.5

　　重复精度(μm)

　　≤2.5

　　电机

　　Panosonic高性能双闭环CNC伺服系统

　　X/Y轴采用Panosonic高性能400W伺服电机，双重闭环控制系统

　　Z轴采用Panosonic高性能(带刹车)100W伺服电机，双重闭环控制系统

　　摄像机

　　STC 1/2″彩色高清工业相机

　　测量软件

　　自主研发全自动影像软件

　　（测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统）

　　镜头

　　全自动变倍镜头(可选配同轴光、探针、镭射头、激光导航)

　　光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率20-128X

　　放大倍率为近似值，与显示器的尺寸及分辨率相关，

　　可通过选配0.5X/2X物镜，实现放大倍率10-64X/40-256X

　　光源系统

　　表面光源：5环8区LED冷光源，255级独立调节

　　轮廓光源：LED绿色冷光源，255级独立调节

　　仪器外形尺寸（L*W*H）

　　1230╳820╳1850mm

　　仪器重量（kg）

　　300kg（保证机台高速运行时的稳定性）

　　电源

　　AC220V/50HZ AC110V/60HZ

　　电脑

　　Intel I5主机

　　显示器

　　27寸

　　质保

　　整机质保1年

　　影像视频卡

　　SV-2000E

　　电源开关

　　中国台湾铭纬 MW 12V-24V，漏电、短路保护