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真空等离子清洗机维护保养使用要求

2023年09月13日 09:20:10      来源:深圳市诚峰智造有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:25

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真空等离子清洗机维护保养使用要求:

        俗话说磨刀不误砍柴工。运用好一个良好的工具往往能够让工作事半功倍。当然机器再好也要保养,所以下面就给大家分享一些真空等离子清洗机的维护保养事宜。

真空等离子清洗机维护保养:

注意:在开始使用清洗机保养或维修前,应采取所有的相关安全防范措施,不于这里提到的内容。

一、前提工作:

1、将设备电源开关关闭,断开总电源保护器。

2、关闭所有气体。

3、准备所需工具箱。

二、真空腔体及真空发生系统的保养:

1、真空腔和电极板是处理工件的工作区,当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢,附着在电极板及腔体壁上。处理方法:当连续使用一个月后,应用无尘布(纸)沾酒精清洁所有电极板及腔体壁,保持腔体清洁。

2、观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用,在使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀,使其变得模糊不清。处理方法:用无尘布(纸)沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁或直接更换真空玻璃。

3、真空泵内所使用油为防氧化专用油,及时更换有利于真空泵的正常工作,延长泵体的使用寿命,建议每三个月更换一次,应经常注意观察真空泵内油量是否充足,油面计指示油面若低于使用下限(油面计旁边有明确标识),及时注入新油至正常用油量。

三、更换真空泵油的具体步骤:

1、打开真空泵加油口的注油塞(内六角扳手);

2、打开放油阀上的放油塞(注意旋钮开关方向);

3、将油安全放出,这时油面计内油面会下降;

4、将泵内油清放干净后将放油塞拧紧 ;

5、将新油从加油口注入,加入超过下限适量即可;

6、将注油塞用六角扳手拧紧;

注意:

更换时请注入纯正的专用油;

将真空泵内原来所使用的油放干净;

工作人员在换油时需佩戴胶皮手套及口罩;

请将放出的废油妥善且安全处理;

真空泵排气口外接油雾过滤器,油雾过滤器能去除从真空泵排出的90%以上的油雾,能防止工作环境的污染,而且还可以起到消音效果。过滤下来的油要从回油口排出本体,否则油会在滤芯与本体之间积聚,这样会导致油雾的产生。

1、过滤器滤芯建议每三个月更换一次。

2、如遇不排气情况,检查滤芯是否堵塞,必要时需考虑更换滤芯。等离子发生器为高频器件,涉及到频率飘移等问题,使用后应在2年左右调校一次,客户要确定时间与等离子清洗机厂家联系,返厂进行校正和调整。设备密封件18个月左右更换一次,其后也需每隔18个月更换一次,以确保真空密封的可靠性。

四、真空等离子清洗机的具体保养事项:

1、定期检查真空泵油:

每月定期查看真空泵油位和油的纯度,观察油位视窗,油位接近低红线刻度时,则添加到油红标线上下之间位置;观察油的颜色,正常的油为清洁透明,当油出现浑浊(油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清)、真空泵噪音异常,则及时更换真空油。

2、清洗反应腔室:

首先使用脱脂棉布沾无水乙醇(俗称酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃)真空腔体。其次腔体导入气体(氩气+氧气或氮气+氧气),用与等离子体反应清除腔体内的残余物。处理时长在10分钟左右即可,每月至少要处理一次。

3、检查输气管道的完整性及真空密封性:

定期检查真空系统的完整性,这种检查应该在的清洗反应室之后,以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门的密封条是否松动。检查各输气管道路线是否连接紧固及有无老化等问题。

4、检查电源连接

电压是否与设备匹配,设备的电压为220V,也有380V的。

真空等离子清洗机维护保养使用要求

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