真空等离子清洗机维护保养使用要求：

        俗话说磨刀不误砍柴工。运用好一个良好的工具往往能够让工作事半功倍。当然机器再好也要保养，所以下面就给大家分享一些真空等离子清洗机的维护保养事宜。

真空等离子清洗机维护保养：

注意：在开始使用清洗机保养或维修前，应采取所有的相关安全防范措施，不于这里提到的内容。

一、前提工作：

1、将设备电源开关关闭，断开总电源保护器。

2、关闭所有气体。

3、准备所需工具箱。

二、真空腔体及真空发生系统的保养：

1、真空腔和电极板是处理工件的工作区，当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢，附着在电极板及腔体壁上。处理方法：当连续使用一个月后，应用无尘布（纸）沾酒精清洁所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁。

2、观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，在使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀，使其变得模糊不清。处理方法：用无尘布（纸）沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁或直接更换真空玻璃。

3、真空泵内所使用油为防氧化专用油，及时更换有利于真空泵的正常工作，延长泵体的使用寿命，建议每三个月更换一次，应经常注意观察真空泵内油量是否充足，油面计指示油面若低于使用下限（油面计旁边有明确标识），及时注入新油至正常用油量。

三、更换真空泵油的具体步骤：

1、打开真空泵加油口的注油塞（内六角扳手）；

2、打开放油阀上的放油塞（注意旋钮开关方向）；

3、将油安全放出，这时油面计内油面会下降；

4、将泵内油清放干净后将放油塞拧紧 ；

5、将新油从加油口注入，加入超过下限适量即可；

6、将注油塞用六角扳手拧紧；

注意：

更换时请注入纯正的专用油；

将真空泵内原来所使用的油放干净；

工作人员在换油时需佩戴胶皮手套及口罩；

请将放出的废油妥善且安全处理；

真空泵排气口外接油雾过滤器，油雾过滤器能去除从真空泵排出的90％以上的油雾，能防止工作环境的污染，而且还可以起到消音效果。过滤下来的油要从回油口排出本体，否则油会在滤芯与本体之间积聚，这样会导致油雾的产生。

1、过滤器滤芯建议每三个月更换一次。

2、如遇不排气情况，检查滤芯是否堵塞，必要时需考虑更换滤芯。等离子发生器为高频器件，涉及到频率飘移等问题，使用后应在2年左右调校一次，客户要确定时间与等离子清洗机厂家联系，返厂进行校正和调整。设备密封件18个月左右更换一次，其后也需每隔18个月更换一次，以确保真空密封的可靠性。

四、真空等离子清洗机的具体保养事项：

1、定期检查真空泵油:

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。

2、清洗反应腔室:

首先使用脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。其次腔体导入气体（氩气+氧气或氮气+氧气），用与等离子体反应清除腔体内的残余物。处理时长在10分钟左右即可，每月至少要处理一次。

3、检查输气管道的完整性及真空密封性:

定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门的密封条是否松动。检查各输气管道路线是否连接紧固及有无老化等问题。

4、检查电源连接

电压是否与设备匹配,设备的电压为220V,也有380V的。