微分扫描光学显微镜发展史
微分扫描光学显微镜的发展近来受到非常广泛关注，它是基于比较样品上邻近两点信息不同这一原则来探测样品的.原来的扫描显微镜(SOM)在探测样品时，即使样品结构没有变化，也可能产生假信号，有时又可能丢失信息，这种系统的潜在能力没有发挥出来.而微分扫描显微镜，只有当样品上相邻两点在结构上有所变化时才会有信号，这样结构上微小的变化能被探测，大大改进了成像效果并提高了分辨率.对样品相邻两点上信息的比较，可采取不同方法.其中主要是从探测光束上取出相位的信息进行比较而给样品成像，也有些是从探测光束上取出振幅信息进行比较.
外差光学显微镜用光电的共态抑制技术(而不是用振动诱发光的位相颤动)进行光的外差精密位相侧量，它能分辨出的相位变化.它是用两同心光束聚焦在样品上，测出反射光束之间的相对位相差.这个无触点的光学显微镜即能探测平滑高反射的表面，也可以探测粗糙的表面.
光导纤维扫描微分干涉比较光学显微镜[16:不需要光学装置，只需简单的探测系统.它借助于光导纤维，省去光路设计，而且系统很容易转换成全光维表面声波传感器.
相敏扫描显微镜可直接检测样品反射光的幅度和位相，因而能获得复空I.7变量的傅里叶变换，能消除光学系统引起的像差的影响，它的深度分辨率优于lOnm，对机械振动不敏感.
微分振幅光学显微镜(DASOM)[1e)的工作原理是基于:在很小范围内正弦地移动光束焦点来探测样品.在张华西的实验中，He-Ne激光光束首先通过一个驻波声光偏转器，驱动频率是1.7MHz，而产生照射光斑在物体表面很小范围内正弦移动.这样，样品表面任伺结构变化如外形或反射率变化都会使反射光束产生一交流信号，从这个信号的强度上可以检测出样品表面及亚表面机械结构和光学性质.经计算DASOM系统的信噪比比普通光学显微镜的信噪比高得多.
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