1、 系统概述

智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；

防腐装置；

★设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；

通信接口，蓝牙连接；

2、处理腔体

处理腔体内径不小于英寸 (241毫米)；

Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；

腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；

3、 旋转马达

转动速度至少满足0-12,000rpm；

旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；

马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；

4、控制系统

★工艺时间设定范围至少满足/step ，精度不超过；

★ 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于%；

可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；

★ 分辨率要小于，重复性误差要小于±，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；

5、配套泵浦

配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；

真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于 SCFM ( 立方米/分钟) ；

6、系统附件

水平测试仪；

两袋密封圈；

配有两套可更换的废液接收单元；

UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；

EBR晶圆去边，机械装置；

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