FR-μProbe用于通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量，例如吸收率，透射率，反射率和荧光。该工具包含两个光学组件：一个在显微镜支持的光谱范围内运行的光谱仪，以及一个安装在任何三目光学显微镜的C端口上的模块。用于测量的光源是光学显微镜中可用的光源。收集信号的大小区域由所用物镜的放大倍率定义。通常对于50倍物镜，监视区域是直径约为5μm的圆形。通过使用高倍率或更小孔径的物镜可以进一步减少收集面积。

通过反射率测量的处理，可以计算出所研究的薄膜和厚膜叠层区域的膜厚和光学常数（n＆k）。

技术参数：

应用领域：
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程

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