该系统是一种团簇式溅射系统,设计用于在硅片上沉积多个金属层。(团簇式固定沉积,推射法)
报价包括本文件中所述每个单元的设计、制造和测试规范,以及在ULVAC现场见证测试、携带、安装和试运行。
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该系统是一种团簇式溅射系统,设计用于在硅片上沉积多个金属层
该系统是一种团簇式溅射系统,设计用于在硅片上沉积多个金属层。(团簇式固定沉积,推射法)
报价包括本文件中所述每个单元的设计、制造和测试规范,以及在ULVAC现场见证测试、携带、安装和试运行。
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