随着半导体芯片工艺技术的发展,工艺技术节点进入28纳米以及14nm等更*等级,随着工艺流程的延长以及越趋复杂,每个晶片在整个制造过程中需要超过200道清洗步骤, 晶圆清洗变得更加复杂、重要以及富有挑战性; 清洗设备以及工艺也必须推陈出新,使用新的户物理及化学原理,在满足使用者的工艺需求条件下,也兼顾降低晶圆清洗成本和兼顾环境保护;
·减少材料损伤(material loss);
·孔洞的清洗能力;
·防止晶片结构损伤(pattern damage);
·金属、材料及微粒子的交叉污染 ;
晶圆可靠性改善;
单片清洗的亮点
·可以提供完整的湿法工艺解决方案,及前瞻的技术规划。
·设备及工艺已经通过国际一线大厂的验证。
·设备平台及腔体设计种类多,可滿足客戶不同條件。
·多层式结构腔体设计,化学品回收率可以达到95%以上。
·自动清洗功能(腔体、排风口、 化学品喷嘴及手臂),可避免交叉污染及减少微粒子。
·*的自动工艺控制功能(片/批次),可以改善产品的均匀性。
·可靠的视觉辨识功能,能立即侦测设备异常,预防产品异常。
IPA 干燥功能,可以减少微粒子及水痕。
ULTRON S2XX/S3XX
·设备平台: ULTRON S-Series
·晶圆尺寸: 200mm/300mm,
·相关技术: 全自动旋转式湿法清洗适用制程: 晶体管, 连接体, 图形化, *内存, 封装
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