真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。
真空烧结炉的使用技巧
真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。安装电炉的场所应符合真空卫生的要求,周围的空气应清洁和干燥,并有良好的通风条件,工作场地不易扬起灰尘等。
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
真空烧结炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件表面不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用於高质量﹑高纯度﹑难熔金属的熔炼和加热﹐例如用於钨﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐热合金钢的冶炼和磁性材料﹐电工材料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。真空炉出现於20世纪30年代前后。
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